目前MEMS市场的主导产品为压力传感器、加速度计、微陀螺仪、墨水喷咀和硬盘驱动头等。大多数工业观察家预测,未来5年MEMS器件的销售额将呈迅速增长之势,年平均增加率约为18%,因此对机械电子工程、精密机械及仪器、半导体物理等学科的发展提供了极好的机遇和严峻的挑战。
MEMS传感器技术随着信息技术发展要求变得更加严格,全球的MEMS传感器市场随着平板电脑以及手机的强劲增长变得缓慢下来。受全球经济疲软影响,全球MEMS传感器市场增长速度放缓,预计未来几年将保持年均8%的复合增长率;主要增长动力来自于消费电子领域特别是手机领域,汽车电子领域增幅有所放缓;未来几年平板电脑和智能手机领域的MEMS传感器应用仍将保持强劲增长,但产品零售价有逐步下降趋势。
随着我国汽车电子、新型数字消费电子和医疗电子等产业的快速发展,国内市场对传感器的需求呈现出快速增长的态势。据中国电子信息产业发展研究院预测,未来五年国内传感器市场年复合增长率将超30%。汽车、物流、矿业探勘、煤矿安监、安防、RFID标签卡领域的传感器市场增长较快。总体来看,中国传感器市场前景广阔。
在此背景下,以MEMS为代表的智能传感器技术得到了快速的发展。与传统的传感器技术相比,MEMS体积小、重量轻、成本低、能耗低、可靠性高、易于批量生产、智能化高。现在正处于高速发展期MEMS技术在未来的发展主要表现在以下几个方面:
第一,微型化的同时降低功耗。将会出现微米甚至纳米级别的微型器件,同时降低功耗;
第二,微型化的同时提高精度,将MEMS加速度计做到石英加速度计的噪声特性,保证MEMS陀螺仪小体积的同时获得光纤陀螺仪的零偏稳定性,且可提供远优于光纤陀螺仪的抗冲击特性;
第三,集成化及智能化趋势,即MEMS与IC的集成制造技术及多参量MEMS传感器的集成制造技术得到发展,以及在集成化基础上使得信号检测具有一定的自动化。这些趋势要求半导体厂商提供更高精度、稳定性更好、更智能的高集成度MEMS传感器模块。
在平板电脑以及智能手机市场的带动下,市场份额不断上升,当然这些传感技术的消费不少来源全球以及我国市场的调整。在我国受全球经济疲软以及国家谨慎的宏观政策影响,2011年我国MEMS传感器市场增速出现放缓的迹象,但仍明显高于全球增速,我国MEMS传感器市场如今增速放缓,发展态势良好。这些稳定的发展得力于MEMS传感器在消费产品中的渗透率得到了进一步提高。
虽然我国有稳定扎实的传感器市场,但作为传感器企业更多的应该认清楚MEMS传感器技术的发展方向。首先传感器的技术是需要向高精度发展,类似如何去对传感器检测的精确制导,再者我们的传感器是要向高可靠性、宽温度范围,以及微型化发展,各种便携设备上应用的传感器更多就该去考虑这几个方面。最后我们的传感器技术还是向微功耗及无源化,向网络化发展,与无线技术结合,向智能化数字化发展,与CPU等结合,科技发展的一个方向也是取决这些方面,能源的控制以及智能化的结合都是MEMS传感器技术的必要。
有关机构预测,在未来6年,MEMS都将保持两位数的稳定增长:营收的复合年增长率约为20%,出货量的复合年增长率约为13%,到2017年全球MEMS市场规模可达210亿美元。