曹景博：从OLED蒸镀的现在和未来谈行业布局与发展

2021年10月19日，在上海市经信委、金山区人民政府的指导下，由上海金山工业区、中国光学光电子行业协会液晶分会、中国OLED产业联盟联合主办的第五届“金水湖”论坛暨2021全球AMOLED生态链峰会，在上海金山假日酒店开幕。此次峰会将以“创新策源·芯屏链动”为主题，聚焦AMOLED领域热点、难点、关键点，邀请行业专家及企业高层会聚一堂，共商行业发展。

作为开幕当天分享的重量级嘉宾，合肥欣奕华OLED事业部总经理曹景博先生以《OLED蒸镀设备的现状与未来》为题做了主题演讲。

曹景博先生表示，OLED显示技术作为一种新型显示技术，近几年正处于快速发展阶段并广泛应用于中高端 手机 面板。OLED mobile PC出货量呈逐年增长趋势且OLED smartphone 今年有比较突出的市场渗透率。最近，元宇宙概念大火，带动 VR 设备进入放量阶段，作为VR/AR设备的关键——硅基OLED产业将进入发展高速道。但是目前国内OLED显示材料和装备国产化率仍比较低，特别是关键装备，国产化比例不足10%。

合肥欣奕华作为国内最早布局OLED蒸镀设备研发企业，一直在为关键装备自主化而努力，通过多年的持续研发投入，攻克了高均匀度蒸镀、高精密对位、真空设计、温度及压力控制等核心技术难点。截止目前，共申请专利49件，其中已获得授权23件，完成软件著作权登记3件。

作为蒸镀设备和关键装置自主化先行者，合肥欣奕华已掌握OLED整机和关键装置的核心技术，开发出了蒸发源、高精密对位系统等蒸镀机关键装置，G1/G2.5蒸镀机，以及8英寸和12英寸硅基蒸镀机等产品。OLED蒸镀机及相关关键装置技术达到世界先进水平，并于2020年通过安徽省首台套重大技术装备认定。

曹景博总经理介绍2021年合肥欣奕华凭借OLED蒸镀机研发设计经验，依托OLED高精密对位技术的二次创新，攻克了硅基OLED 蒸镀机膜厚均一性、稳定性和微米级高精密定位技术难题。同时，对于某些特殊蒸镀材料，通过蒸镀趋势模拟，开发特定的蒸发源并制定蒸镀工艺实现其长期稳定蒸镀，合肥欣奕华成为国内头家量产型硅基OLED蒸镀机交付的公司。这是合肥欣奕华又一次突破，硅基蒸镀机的交付是我国泛半导体领域核心工艺装备自主化道路上的又一里程碑。

在谈到未来发展方面，曹景博先生认为技术主要会向三个方向发展：一是面向大尺寸OLED的喷墨打印技术;二是适用于大尺寸OLED面板蒸镀的OVDP和垂直蒸镀技术，三是拥抱面向元宇宙的高分辨率RGB全彩硅基蒸镀技术。合肥欣奕华将持续发力，继续攻坚，建立上下游共同发展的生态链，协同分工，助力OLED显示产业快速发展。