中国电科：芯片制造关键设备再突破，离子注入机实现全谱系产品国产化

创头条获悉，3月17日，中国电子科技集团有限公司（中国电科）对外公布，该集团旗下电科装备已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。

中国电科旗下电科装备研制成功的离子注入机。中国电科 供图

中国电科介绍说，离子注入机是芯片制造中的关键装备。电科装备连续突破大流强长寿命高品质离子源、高速晶圆传输等“卡脖子”关键技术，自主研制出中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28纳米，已累计形成核心发明专利413项，实现中国芯片制造领域全谱系离子注入机自主创新发展，将有效缓解中国芯片制造领域断链、短链难题。

据了解，中国电科是在原信息产业部直属的46家电子科研院所及26家全资或控股公司基础上组建而成，于2002年3月1日正式挂牌运营，主要从事国家重要军民用大型电子信息系统的工程建设，重大电子装备、软件、基础元器件和功能材料的研制、生产及保障服务。是中央直接管理的涉及国家安全和国民经济命脉的国有重要骨干企业，是国内唯一覆盖电子信息技术全领域的大型科技集团。

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